薄膜应力计算器
基于 Stoney 公式与曲率法，输入基底材料、基底厚度、薄膜厚度与沉积前后曲率半径，实时计算薄膜的残余应力（张应力 / 压应力）、曲率变化与 Bow 变化，并绘制晶圆弯曲示意图，纯前端生成 PDF。
计算结果（Stoney 公式）
实时—薄膜应力 σ（MPa）
—应力类型
—曲率变化 k（1/m）
—Bow 变化（µm，参考 Ø300）
晶圆弯曲示意（曲率已夸张放大）
实时
张应力 Tensile
基底截面
初始 R₀ 参考平面
导出计算规格（PDF）
一键下载当前参数的 PDF 规格书（含参数表与晶圆弯曲示意图）。需要特定材料的镀膜片、测试片或来料曲率 / Bow 验证，可提交询价，工程师 24h 响应。