晶圆花篮（Wafer Cassette）
PEEK / PP / PFA / 防静电全材质覆盖 · 2–12 英寸 13 槽 / 25 槽常备现货 · 与硅片订单同单发货，洁净室拆包即用。
产品介绍
晶圆花篮（Wafer Cassette，又称晶圆载具、提篮）是硅片在清洗、刻蚀、湿法工艺、存储与厂内转运环节的标准容器。槽距与外形符合 SEMI 标准，可对接主流清洗机、甩干机与片盒传输系统。我们常备 PEEK、PP（聚丙烯）、PFA 与防静电（ESD）四大材质，覆盖 2–12 英寸尺寸，可与硅晶圆衬底订单合并发货，一次购齐。
PEEK / PP / PFA / ESD 晶圆花篮，洁净室拆包即用
能力介绍
花篮适配湿法清洗与高温工艺，耐化学、耐高温
洁净度与质量检测
花篮在洁净室内清洗、烘干、双层真空包装出货，拆包可直接进入洁净间，颗粒与析出满足湿法工艺要求。
- 洁净度：ISO Class 5 洁净室内清洗、烘干、双层真空包装，拆包可直接进洁净间使用。
- 耐高温：PEEK 与 PFA 可承受 250℃ 以上烘箱烘烤与热酸工艺；PP 建议不超过 100℃，高温场景选 PEEK。
- 耐化学：PFA 可长期接触氢氟酸、浓硫酸、双氧水等强腐蚀药液；PP 不建议接触 98% 浓硫酸与强氧化体系。
- 使用寿命：PEEK 花篮正常清洗周转下可使用数年，远超一次性塑料载具，综合成本更低。
- 质量检测：颗粒按 IEST-RP-CC005，析出按 ASTM E595（TML < 0.1%、CVCM < 0.01%），尺寸对照 SEMI E1 / E15 / E57，ESD 按 ANSI/ESD S20.20 验证。
参数规格
槽位配置与自动化兼容
| 项目 | 可选配置 | 说明 |
|---|---|---|
| 槽距（Pitch） | 4.76 mm（3/16″）、6.35 mm（1/4″）、9.525 mm（3/8″）、12.7 mm（1/2″） | 可按需定制槽距、槽深与限位 |
| 槽位数 | 13 / 25（标准）/ 50 槽，可定制 | 25 槽为 SEMI 标准配置 |
| 结构形式 | Open 开放式、H-Bar、C-Bar、全包围式 | H-Bar 便于手动取放与湿台；C-Bar 更轻，适合转运存储；全包围式防护最好 |
| 自动化接口 | SMIF Pod 兼容（150/200 mm）、FOUP 内置花篮（300 mm）、机器人抓取法兰/对位缺口/条码面 | 对接 AMHS 自动物料搬运系统 |
| 追踪标识 | 可选内嵌或外贴 RFID 标签 | 用于批次追踪 |
| 适用标准 | SEMI E1 / E15 / E57 / E158 | 非标配置可定制 |
ESD 防静电分级
| 防护等级 | 表面电阻率 | 特点 | 适用 |
|---|---|---|---|
| 静电耗散型（Static-Dissipative） | 10⁶ – 10⁹ Ω/sq | 电荷受控缓慢泄放，既不积聚也不产生火花放电 | 多数 CMOS 与 MEMS 产线环境 |
| 导电型（Conductive） | < 10⁴ Ω/sq | 快速泄放，碳填充 PEEK 或导电 PP，可设接地点 | 亚 2 nm 栅氧等极高敏感器件 |
| 表面处理抗静电型（Topical） | 按处理 | 成本低，但反复湿法处理可能衰减 | 一般 ESD 防护，不建议湿台长期使用 |
| 静电衰减时间 | < 0.5 秒（按 MIL-B-81705C） | ||
与搬运 / 包装流程的配合
花篮是晶圆在厂内流转与外发运输的衔接容器，建议按下述流程配套选型，形成"湿法—高温—转运—外发"的完整闭环：
| 环节 | 推荐容器 / 配件 | 说明 |
|---|---|---|
| 湿法清洗 / 刻蚀 | PEEK 或 PFA 25 槽花篮 | 耐热耐化学，可直接进出清洗机、甩干机 |
| 高温炉管 / 扩散装片 | PEEK 花篮 | 260℃ 以下连续使用，避免变形与析出污染炉管 |
| 厂内 AMHS 转运 | ESD-Safe PP 花篮 / FOUP 内置花篮 | 轻量防静电，配条码或 RFID 便于批次追溯 |
| 单片外发打样 | 单片晶圆运输盒 | 真空密封，单片也能安全寄达 |
| 整批外发 | 25 片运输盒 / 框架盒 | 与硅片订单同单发出，含顺丰保价 |
| 划片后段 | 晶圆框架与贴片环 | 贴膜上框后改用框架盒，花篮仅用于整片 |
| 单颗 Die 分选 | 芯片盒 / 华夫盒 | 划片、挑片后装盒交付 |
材质对比与选型
| 材质 | 耐温范围 | 耐化学性 | 典型场景 |
|---|---|---|---|
| PEEK | 连续使用 ≤ 250℃ | 耐强酸强碱、耐有机溶剂 | 高温工艺、清洗机长期周转、产线量产 |
| PP（聚丙烯） | ≤ 100℃ | 耐酸碱，不耐强氧化性酸 | 常温湿法清洗、存储转运，性价比之选 |
| PFA | ≤ 260℃ | 几乎耐全部化学品，析出极低 | 超纯清洗、先进制程、金属污染敏感工艺 |
| 防静电 PP（ESD） | ≤ 100℃ | 同 PP，表面电阻 10⁴–10⁹ Ω | 静电敏感器件、化合物衬底、后段转运 |
尺寸与容量规格表
| 适配晶圆 | 容量（槽数） | 槽距 | 备注 |
|---|---|---|---|
| 2 英寸 | 13 / 25 槽 | 4.76 mm | 化合物小片常用 |
| 3 英寸 | 13 / 25 槽 | 4.76 mm | 科研常用 |
| 4 英寸 | 13 / 25 槽 | 4.76 mm | MEMS / 化合物产线主力 |
| 6 英寸 | 13 / 25 槽 | 6.35 mm | 功率器件产线常用 |
| 8 英寸 | 13 / 25 槽 | 6.35 mm | 适配主流清洗设备 |
| 12 英寸 | 13 / 25 槽 | 10 mm | FOUP 前段转运/湿法工艺用 |
设备与工艺装备
| 设备类别 | 典型配置 | 用途 |
|---|---|---|
| 注塑机 | PEEK / PP / PFA / ESD 原料注塑成型 | 花篮主体成型 |
| CNC 加工中心 | 精密槽距与限位加工 | 非标槽距 / 结构定制 |
| 清洗 / 烘干线 | ISO Class 5 洁净清洗烘干 | 洁净度处理 |
| 颗粒计数仪 | 液体颗粒计数（IEST-RP-CC005） | 洁净度检测 |
| 析出测试设备 | ASTM E595（TML / CVCM） | 真空兼容析出测试 |
| 电阻率测试仪 | 表面 / 体积电阻测试 | ESD 分级验证 |
| 尺寸测量仪 | 三坐标 / 影像测量 | 对照 SEMI 尺寸验证 |
实际案例
产线湿法
耐 HF 的 PFA 花篮
某化合物产线的清洗工序涉及氢氟酸，需要耐强腐蚀且低析出的花篮。
PFA 25 槽花篮适配清洗机，耐化学与析出数据随批提供
高温工艺
扩散装片耐 260℃
某产线扩散装片工序需要长期耐受高温、不污染炉管的花篮。
PEEK 花篮长期使用不变形、不析出，炉管颗粒可控
高校科研
花篮与运输盒同单
某课题组需要 PP 13 槽花篮并希望与晶圆运输盒一起采购。
同单发货、一单开具增值税专票，便于科研报销
常见问题
花篮和硅片一起买能合并发货吗？
可以。花篮属于常备现货，可与硅片、运输盒同单发出，满额顺丰包邮，一张订单一张 13% 增值税专票，方便科研报销。
PEEK 和 PP 花篮怎么选？
看工艺温度与预算：涉及 100℃ 以上烘箱或热酸工艺、需要长期高强度周转的产线选 PEEK；常温清洗、存储转运为主的科研与小批量场景选 PP 即可，价格约为 PEEK 的三分之一。
花篮是否适配我们的自动清洗机？
我们的花篮槽距与外形尺寸符合 SEMI 标准，可对接主流湿法清洗与甩干设备。下单前请告知设备品牌型号，工程师可核对兼容性；特殊槽距或非标尺寸支持定制开模。
什么时候需要 PFA / PTFE 花篮？
当工序涉及 RCA 清洗、Piranha、HF、BOE 等强腐蚀药液，或对金属析出极敏感（可低至 < 1 ppb）时，选 PFA / PTFE 花篮。其耐温范围约 -200℃ 至 +260℃，几乎耐全部常见工艺化学品，是湿台与超纯清洗的常用选择。
防静电花篮的电阻档次怎么选？
多数 CMOS 与 MEMS 环境选静电耗散型（10⁶–10⁹ Ω/sq），电荷受控泄放；亚 2 nm 栅氧等极高敏感器件选导电型（< 10⁴ Ω/sq），可设接地点快速泄放。表面处理抗静电型成本低，但反复湿法处理易衰减，不建议湿台长期使用。静电衰减时间均按 < 0.5 秒（MIL-B-81705C）控制。
SMIF / FOUP 兼容怎么确认？
150/200 mm 产线可选 SMIF Pod 兼容花篮，300 mm 可选 FOUP 内置花篮；如需对接 AMHS，请提供设备的抓取方式与对位要求，我们按 SEMI E1/E15/E57/E158 核对，并可加装条码面或 RFID 标签。非标接口支持定制。
花篮有哪些尺寸和槽位可选？
覆盖 2–12 英寸，标准 13 槽 / 25 槽（25 槽为 SEMI 标准配置），另有 50 槽可定制；槽距有 4.76、6.35、9.525、12.7mm 等可选。
花篮的洁净度和析出如何保证？
在 ISO Class 5 洁净室清洗、烘干并双层真空包装，拆包可直接进洁净间；颗粒按 IEST-RP-CC005，析出按 ASTM E595（TML < 0.1%、CVCM < 0.01%）检测。
花篮有哪些结构形式？
有 Open 开放式、H-Bar、C-Bar 与全包围式：H-Bar 便于手动取放与湿台操作，C-Bar 更轻适合转运存储，全包围式防护最好。
花篮能用多久，性价比如何？
PEEK 花篮在正常清洗周转下可使用数年，远超一次性塑料载具，综合成本更低；长期高温或强腐蚀工况也建议选 PEEK 或 PFA。
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