ISO 9001 质量管理体系
所供衬底均来自通过 ISO 9001 认证的晶厂与合作加工厂,从来料检验、过程控制到出厂复测均有记录可查。我们自身的仓储、分装与发货流程同样按体系文件执行,批次全程可追溯。
不写「全球领先」,只给您能查验的东西:体系认证、洁净室等级、随片检测数据和交付记录。
半导体衬底是器件性能的地基,「差不多」在这里不成立。因此我们不使用「行业领先」「国际一流」这类无法证实的表述,而是把承诺拆成一件件您可以查验的事实:供应商是否通过 ISO 9001 体系审核、分装操作在哪一级洁净室完成、每片晶圆附带哪些实测数据、上一季度的准时交付率是多少。下面的每一项,都欢迎您在合作前索取佐证材料。
不做无法证实的表述,把质量承诺拆成一件件可查验的事实
所供衬底均来自通过 ISO 9001 认证的晶厂与合作加工厂,从来料检验、过程控制到出厂复测均有记录可查。我们自身的仓储、分装与发货流程同样按体系文件执行,批次全程可追溯。
晶圆的开箱、目检、分装与再包装在 ISO Class 5(百级)洁净环境中完成,操作人员着无尘服、佩戴无硫手套,使用真空吸笔与晶圆镊子,最大限度避免颗粒污染与表面划伤。
这些质量保障与文件配套,覆盖从科研采购到量产耗材的典型场景。
随附 CoC 与送货单,13% 增值税专票,报销资料一次齐全,适合高校与院所的经费结算要求。
再生片如实标注等级与再生次数,随批附颗粒与平整度数据,满足产线入料检验要求。
面向 TGV 与转接板项目,随批提供孔径、深宽比与翘曲数据,支撑工艺验证与来料评估。
按约定项目(膜厚、TTV、颗粒、线宽、孔径等)出具检测报告,加工结果可逐项核验。
再生次数、膜层去除方式与等级随片标注,绝不以 Test 充 Prime,循环批次可追溯。
图纸脱敏流转、NDA 签署与残片保密销毁,保护客户器件结构与设计信息。
掩膜版定制、来图加工与联合开发项目,可在报价前签署双向保密协议;未签署前您只需提供评估所需的最小信息。
对外协厂流转的图纸默认去除客户名称与器件用途信息,仅保留加工必需的几何与工艺数据,按项目编号管理。
项目结束后按约定归还或销毁设计文件;加工残片、报废片可签订保密销毁协议并提供销毁记录。
几何、表面、电学与膜层项目均可按批次出具实测数据
从检测项目的覆盖到数据与保密的管控,形成可查验、可追溯的质量闭环。
每个材料类别均配有技术数据手册(PDF),包含规格参数、检测数据与合规声明,可用于可行性评估、工艺验证与供应商对比。
| 材料类别 | 数据手册覆盖的主要产品 |
|---|---|
| 硅晶圆衬底 | Prime 正片、测试 / 监控片、Dummy 挡片、再生片、超薄 / Taiko 片、FZ 高阻片、SOI、热氧化片、氮化硅片、硅外延片 |
| 化合物半导体 | SiC 衬底、GaAs、蓝宝石基 GaN、InP |
| 玻璃衬底 | 熔融石英 / 石英、Borofloat 33、蓝宝石、单晶石英 |
| 镀膜衬底 | TEOS 氧化硅、LiNbO₃、LiTaO₃、ITO、蓝宝石上硅(SOS) |
| 其他材料 | 锗(Ge)、石墨烯衬底 |
| 锭材 / 散料 | 硅锭、化合物锭材 |
| 随片文件 | 内容 | 适用批次 |
|---|---|---|
| CoC 合格证书 | 规格符合性声明:尺寸、晶向、导电类型、电阻率范围、厚度、等级 | 全部批次 |
| 检测报告 | 按约定项目出具实测值:TTV、Bow、Warp、颗粒、膜厚、电阻率抽测、线宽/孔径等 | Prime 级及定制加工批次 |
| 送货单 / 装箱单 | 品名、规格、数量、批次号,与采购合同一一对应 | 全部批次 |
| 增值税发票 | 13% 增值税专用发票(专票/普票可选),随货或单独邮寄 | 全部批次 |
| 再生等级说明 | 再生片标注再生次数、膜层去除方式与等级,绝不以 Test 充 Prime | 再生片批次 |
标准产品之外的自定义规格,可联系工程团队按需求生成数据手册,具体检测项目参见 检测与认证服务。
以下检测类别均可按批次出具数据,覆盖几何、表面、电学、膜层与图形尺寸。
| 检测类别 | 典型设备 / 项目 | 典型用途 |
|---|---|---|
| 几何参数 | 厚度 / TTV / Bow / Warp / LTV 量测 | 光刻焦深评估、键合前平整度确认 |
| 表面质量 | 颗粒计数、表面粗糙度(AFM)、目检划伤 / 雾状缺陷 | 混合键合、外延前表面评估 |
| 电学参数 | 四探针电阻率、少子寿命(按需) | 掺杂均匀性确认、器件级筛选 |
| 膜层参数 | 膜厚与均匀性、折射率、膜应力(按需) | 氧化 / 氮化 / 金属膜批次验证 |
| 图形尺寸 | 线宽 CD、孔径、深宽比(加工批次) | 光刻 / 刻蚀 / TGV 加工验收 |
| 结构分析 | SEM / FIB、XRD 摇摆曲线 | 孔型、晶体质量与界面分析 |
以下案例均已匿名化处理,仅保留合作模式与可分享的结果。
客户在合作前需要核验文件格式与检测项目,我们提供了脱敏后的 CoC 与检测报告样例,格式与实际收货时一致。
结果:客户据此通过内部供应商评估,随即转入小批量采购。
产线需要再生片通过入料检验,我们随批提供再生次数、膜层去除方式与颗粒、平整度数据,等级标注与实测一致。
结果:关键批次通过产线入料检验,循环体系稳定运行。
索取 CoC / 检测报告样例,或直接提交规格获取 24h 工程师报价。