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IC 芯片盒(华夫盒 / Gel-Pak / TRAY 盘)

IC 芯片盒是一种用于裸 Die 存储、挑片分选与转运发货的芯片载具,提供 2 / 4 英寸华夫盒、Gel-Pak 真空释放盒与防静电 TRAY 盘,防静电洁净材质、含税报价一站购齐。

产品介绍

晶圆划片之后,单颗裸芯片(Die)的存储与转运需要专用容器:既要固定芯片防止滚动碰撞,又要便于镊子或吸笔拾取,还要防静电、防污染。我们供应三大主流方案——华夫盒(Waffle Pack)、Gel-Pak 真空释放盒与防静电 TRAY 盘,覆盖科研挑片、封测厂 Die Bank 与芯片分销发货等场景,可与我方激光切割/划片服务衔接,切好的 Die 直接装盒交付。

华夫盒 / TRAY 盘 / Gel-Pak 芯片盒示意

华夫盒、Gel-Pak 真空释放盒与防静电 TRAY 盘

能力介绍

Gel-Pak 真空释放取片与 TRAY 盘作业

Gel-Pak 真空释放与 TRAY 盘分选,适配自动挑片 / 固晶

定制腔体

除常备华夫盒、Gel-Pak 与 TRAY 盘外,我们可按 Die 图纸加工定制腔体,覆盖 MEMS、光电与功率器件等特殊形态。

  • 定制腔体:按 Die 图纸加工腔体几何,PEEK / 铝 / PBT / PC / PTFE 可选,公差标准 ±25μm(可要求 ±10μm),单件适用至 50 mm × 50 mm。
  • MEMS 器件:悬臂梁、薄膜、梳齿等已释放结构采用带台阶(standoff)与避空区的定制腔体,避免接触可动结构。
  • 光电器件:边发射激光器、探测器与 VCSEL 阵列用带解理面避空槽的 ESD 载具,防止解理面损伤与静电退化。
  • GaN / SiC 功率 Die:垂直电流与背面金属化要求背面接触完整,选导电载具;经烧结 / 退火的高温 Die 选耐高温 PEEK 载具。
  • 真空释放系统:VR 系列盒抽真空即可释放 Die,可对接自动挑片 / 固晶设备;实验室用镊子或真空吸笔手动取片。
  • 选型支持:常规尺寸选华夫盒,超薄 / 脆性 / 高价值选 Gel-Pak,自动化产线选 JEDEC TRAY,非标 / 已释放结构选定制 CNC 载具。

参数规格

常备规格表

产品规格材质备注
华夫盒2 英寸 / 4 英寸,格数 16–400 格可选导电 PS / 防静电 PC按 Die 尺寸选格距,配限位上盖与弹簧卡扣
Gel-Pak 盒1 / 2 / 4 英寸,VR 真空释放系列凝胶粘性 X0–X8 多档可选超薄 Die 选低粘档,防止取片破片
TRAY 盘JEDEC 标准(322.6 × 135.9 mm)耐高温 PPE / MPPO适配自动分选机与烧录机,可耐 125℃ 烘烤
防静电配件导电海绵 / 防静电镊子 / 真空吸笔—与芯片盒配套采购,一站购齐

载体材料、ESD 与温度

参数项可供应范围说明
材料导电 PEEK、防静电 PC、导电 PS、导电 PBT、阳极氧化铝、Gel-Pak 凝胶按器件敏感度与工艺温度选
适配 Die 尺寸0.1 mm × 0.1 mm 至 50 mm × 50 mm(更大可定制)超出范围可按图纸开模
ESD 等级静电耗散 10⁵–10⁹ Ω/sq;导电 < 10⁴ Ω/sq;Gel-Pak 表面 10⁶–10⁸ Ω/sq按 ANSI/ESD S20.20、STM11.11 验证
温度范围常规 -20 – +85℃;耐高温 PEEK -40 – +260℃;Gel-Pak 胶面 -55 – +150℃过炉/退火后 Die 选 PEEK
洁净等级ISO Class 4–5(Class 10–100)洁净间装配、双层袋包装随批附材质追溯文件
上盖形式卡扣透明 PC、铰链式、ESD 螺钉固定、可真空密封盖、真空释放盒—
定制项腔体几何、激光刻字、颜色标识、RFID 槽、防拆封条可按模具/图纸定制

Gel-Pak 保留力等级

等级适用 Die特点
低保留力(LR)大 Die(> 5 mm²)、背面光滑粘性最低,低顶出力即可拾取
标准保留力(SR)常用 1 – 25 mm² Die粘性适中,运输稳固且拾取方便
高保留力(HR)小 Die(< 1 mm²)、背面粗糙、高振动运输保持力最大,同时保证洁净剥离
超高保留力(X-HR)极低质量(< 0.1 mg)Die、航空振动或长途运输极端环境下的最高固定强度

与划片 / 搬运 / 发货流程的配合

芯片盒是后段链路的关键存储与交付节点,建议按下述环节配套选型与容器:

环节推荐容器 / 工具上游衔接
划片前整片周转晶圆花篮晶圆花篮
贴膜上框与划片划片环 + 切割膜 / UV 膜晶圆框架与贴片环
常规 Die 挑片与存储华夫盒(Waffle Pack)格距按 Die 尺寸选
超薄 / 脆性 / 高价值 KGDGel-Pak 真空释放盒按保留力等级选
自动化固晶 / 分选JEDEC 标准 TRAY 盘对接主流固晶机 / 分选机
非标 / MEMS / 光电 Die定制 CNC 载具按图纸开腔
芯片对外发货盒内衬导电海绵 + 外罩防静电屏蔽袋 + 干燥剂参照晶圆运输包装三层防护

三类方案对比表

方案固定原理适合芯片典型场景
华夫盒(Waffle Pack)网格凹槽 + 卡扣上盖限位0.5 mm 以上常规尺寸 Die挑片分选、Die Bank 存储、批量转运
Gel-Pak 真空释放盒凝胶面粘性固定,盒底抽真空后释放微小 / 超薄 / 异形 Die、脆性化合物芯片精密器件、光电器件、怕压怕碰芯片
防静电 TRAY 盘JEDEC 标准托盘凹槽定位已封装 IC / QFN / BGA / 裸 Die封测厂自动上下料、烧录测试周转

设备与工艺装备

设备类别典型配置用途
注塑机导电 PS / PBT / PC 成型华夫盒 / TRAY 盘成型
CNC 加工中心PEEK / 铝腔体精密加工定制腔体、公差 ±25μm
激光刻字设备腔体编号 / 标识批次标识与追溯
洁净装配线ISO Class 4–5 装配洁净装配与封装
ESD 检测表面电阻测试(ANSI/ESD S20.20)防静电性能验证
显微镜 / 影像量测腔体尺寸与外观尺寸与外观检验

实际案例

高价值 KGD

零损伤取片

某 KGD 项目对零损伤要求最高,镊子取片易造成崩边与残胶。

Gel-Pak 真空释放盒取片无应力、零残胶

封测产线

对接分选与烧录

某封测厂需要可直接上自动分选机与烧录机的标准载具。

JEDEC 标准 TRAY 盘适配自动上下料,可耐 125℃ 烘烤

MEMS 器件

避空腔体定制

某 MEMS 器件已释放结构怕触碰,标准格槽无法固定。

定制 CNC 载具带避空腔体,避免接触可动结构

常见问题

华夫盒的格数怎么选?
按芯片尺寸定格距:格距 ≈ Die 边长 + 0.3–0.5 mm,保证 Die 放入后略有间隙便于拾取又不会大幅晃动。告知您的 Die 尺寸与数量,工程师直接推荐格数规格,也可混格定制。
Gel-Pak 的凝胶粘性怎么选?会不会残胶?
Gel-Pak 提供 X0–X8 多档粘性:Die 越小越轻选低档(X0–X4),大 Die 或表面粗糙选高档。凝胶为低残胶配方,真空释放后芯片背面洁净,不影响后续共晶或胶合贴装。
能提供划片 + 装盒的一站式交付吗?
可以。您提供晶圆与切割图纸,我们完成贴膜上框、激光/刀片划片、清洗挑片,按您的 map 图将良品装入华夫盒或 Gel-Pak,随附 map 文件与数量清单发货,到货直接上 Die Bonder。
华夫盒、Gel-Pak、JEDEC TRAY 怎么选?
常规尺寸 Die、挑片分选与批量存储选华夫盒(12–324 格,导电 PS/PBT);超薄、微小、脆性或高价值 Die 选 Gel-Pak(零残胶、真空释放);自动化固晶/分选产线选 JEDEC 标准 TRAY(24–480 腔,对接主流固晶机/分选机)。非标或已释放的 MEMS 器件选定制 CNC 载具。
KGD(已知良品)Die 用什么载具?
KGD 对零损伤要求最高,推荐 Gel-Pak:凝胶定位经 FTIR/XPS 验证零残胶,按 Die 质量与背面状态选标准/高保留力,配 VR 真空释放盒在固晶前无应力取片;如器件的解理面或释放结构怕触碰,可改定制 CNC 载具带避空腔体。
能定制非标腔体或特殊材质吗?
可以。按 Die 图纸或 CAD 文件加工腔体几何,材质可选 PEEK、铝、PBT、PC、PTFE,腔体公差标准 ±25μm(可要求 ±10μm),单件适用至 50 mm × 50 mm;可加激光刻字、颜色标识、RFID 槽与防拆封条。请提供图纸与器件尺寸,工程师评估后报价。
Gel-Pak 的保留力等级怎么分?
分低(LR)、标准(SR)、高(HR)与超高(X-HR)四档:大 Die 选 LR,常用 1–25mm² 选 SR,小 Die 或背面粗糙选 HR,极低质量或航空振动运输选 X-HR。
载具的防静电和耐温怎么选?
材料可选导电 PEEK、防静电 PC、导电 PS/PBT 与阳极氧化铝等;常规 -20–+85℃,耐高温 PEEK 可 -40–+260℃,ESD 按 ANSI/ESD S20.20 验证。
能装多大的芯片?
适配 Die 尺寸从 0.1mm×0.1mm 至 50mm×50mm,超出范围可按图纸开模;华夫盒常见 16–400 格,可按芯片尺寸选格距或混格定制。
装盒后怎么保证运输安全?
芯片对外发货采用盒内衬导电海绵、外罩防静电屏蔽袋并加干燥剂,参照晶圆运输包装的三层防护,降低静电与受潮风险。

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