MEMS 与传感器
硅、SOI、玻璃与压电衬底,用于惯性、压力、麦克风、微镜与生物 MEMS;适配 DRIE 与晶圆键合,支持气密封装,常见 100–200mm。
以下案例均已匿名化处理,隐去客户名称与涉密细节,仅保留合作模式与可分享的结果。
半导体供应链的合作信息普遍受保密协议约束,客户名称、器件结构与具体参数均不可对外披露。因此我们选择如实呈现合作模式与结果量级,而不借客户名头为自己背书——这与我们对您项目的保密承诺是同一条原则。下面的案例覆盖科研供应、先进封装配套、工艺外包与产线配套四类典型合作,希望帮助您判断自己的项目可以如何与我们对齐。
无论您处在样品验证、年度供应还是工艺外包阶段,都可以从对应模式切入;合作模式与质量文件样例可在 质量与信任 页面查看,或直接联系我们索取。
从样品验证到年度框架,合作模式跟随项目阶段灵活调整
从 MEMS 到功率电子,衬底与工艺覆盖主流器件应用场景。
硅、SOI、玻璃与压电衬底,用于惯性、压力、麦克风、微镜与生物 MEMS;适配 DRIE 与晶圆键合,支持气密封装,常见 100–200mm。
高阻硅、GaAs、GaN-on-Si/SiC 衬底,用于射频开关、功率放大器、低噪放与毫米波前端,常见 50–200mm。
SOI、InP、LiNbO₃ 与石英衬底,用于硅光、光收发、激光雷达光束转向与光子集成,埋氧层 0.5–3μm,常见 100–300mm。
4H/6H-SiC 与 GaN-on-Si 衬底,用于 MOSFET、肖特基二极管与 HEMT,微管密度可控,常见 100–200mm。
硅与玻璃转接板衬底,用于 2.5D/3D 集成,TSV 5–100μm,适配 FOWLP 载体与细线宽 RDL,支持 300mm。
从碎片到整片供应,无最小起订量,支持定制叠层、非标材料与学术优惠价,并配技术咨询。
硅、SOI、SiC/GaN、玻璃等主流材料现货齐全,按项目需求反推规格,一片起订。
查看产品中心键合、减薄、凸块、TSV/TGV 与再生等工序可整段外包,按月度批量结算,客户可自供片。
查看工艺服务TGV 玻璃基板与转接板衬底样品批,随批附孔径、深宽比与翘曲数据,先验证再放量。
进入先进封装专区建立「使用—回收—再生—复用」循环,再生次数与等级随片标注,显著降低耗材成本。
了解再生方案随货提供 CoC、检测报告与 13% 增值税专票,支持批次追溯与科研报销。
查看质量与信任涉及图纸与器件用途的项目可签署 NDA,图纸脱敏流转,残片按约定保密销毁。
了解保密承诺
从样品批到量产供应,工艺与检测在同一质量体系下完成
围绕案例中的四类合作,我们能提供的核心能力如下。
常见合作模式与对应的适用阶段、主要特点,方便您对照项目阶段选择。
| 合作模式 | 适用阶段 | 主要特点 |
|---|---|---|
| 现货单次采购 | 科研、小批量、应急补料 | 一片起订、48 小时发货、含税人民币、随片 CoC |
| 年度框架供应 | 产线稳定耗材 | 锁定价格与交期、按需下单、目录价供货 |
| 工艺外包 | 工序产能不足或降本 | 客户供片或我方供片,按月度批量结算 |
| 联合开发 / 样品验证 | 先进封装、新器件研发 | 先小批样品验证,随批附检测数据,再转量产 |
| 案例类型 | 合作模式 | 结果量级 |
|---|---|---|
| 先进封装样品批 | TGV 玻璃基板联合开发 | 图纸确认到样品交付 6 周 |
| 科研年度供应 | 硅片 + 掩膜版框架 | 采购周期从 3 周缩短到 1 周内 |
| MEMS 键合外包 | 阳极键合工序外包 | 工序综合成本下降约 30% |
| 产线再生循环 | 监控片回收再生复用 | 年度耗材费用下降约 60% |
案例中涉及的主要设备与工艺类别,均在统一质量体系下执行并提供检测数据。
| 设备 / 工艺类别 | 典型配置 | 用途 |
|---|---|---|
| 键合设备与工艺 | 阳极 / 共晶 / 直接键合机 | MEMS 硅-玻璃阳极键合与堆叠互连 |
| 激光打孔设备 | 超快激光改质 + 湿法刻蚀线 | TGV 玻璃通孔成孔 |
| 金属化设备 | PVD 种子层 + 电镀填铜线 | TGV / TSV 通孔金属化 |
| 研磨与抛光设备 | 精密背磨机、CMP 抛光机 | 减薄与再生片去膜重抛 |
| 光刻设备 | 接触 / 接近式光刻机 | 掩膜版图形化与 RDL 布线 |
| 量测与检测设备 | SEM / AFM、颗粒与翘曲量测 | 孔径、深宽比、平整度与颗粒验收 |
以下案例均已匿名化处理,隐去客户名称与涉密细节,仅保留合作模式与可分享的结果。
背景:该客户为 AI 芯片 2.5D 封装项目评估玻璃转接板路线,需要多组孔径/深宽比的 TGV 玻璃样品做工艺验证,海外供应商交期 12 周以上且起订量高。
方案:我们提供了 3 组参数梯度的 TGV 玻璃衬底 样品批(含金属化种子层选项),按约定项目出具孔径与深宽比检测数据,签署 NDA 后按项目编号流转图纸。
结果:从图纸确认到样品交付 6 周完成,客户按期完成首轮工艺验证,随后转入小批量试产供应。
背景:实验室多个课题组共用采购通道,需求零散(从几片测试片到整版光刻掩膜版),且每笔支出都需完整报销资料,此前多平台分散采购、票据混乱。
方案:签订年度供应框架,实验室按目录价随时下单、一片起订;每批随附 CoC、送货单与 13% 增值税专票,电子票据同步发送,课题经费报销一次通过。掩膜版项目按约定脱敏流转。
结果:采购周期从平均 3 周缩短到 1 周内,报销资料齐全率 100%,合作已进入第三年。
背景:该厂量产 MEMS 压力传感器需要硅-玻璃阳极键合,自购键合设备利用率不足一半,折旧与维护成本摊高了单片成本。
方案:将键合工序整体外包给我们,由客户供片、我方完成 阳极键合 与键合强度抽测,按月度批量结算;我方同时供应配套的 Borofloat 类玻璃衬底,进一步合并物流。
结果:客户省去设备投入与专职工艺人力,键合工序综合成本下降约 30%,键合良率稳定在约定指标之上。
背景:该产线设备监控与工艺调试消耗大量 Dummy/监控片,长期使用全新 Test 片,耗材预算逐年攀升。
方案:建立「使用—回收—再生—复用」循环体系:产线退回的监控片经 晶圆再生 去膜、重抛、清洗后按等级返还,再生次数与等级随片标注,部分场景搭配新 Test 片组合供应。
结果:年度测试类衬底耗材费用下降约 60%,再生片关键批次通过产线入料检验,循环体系运行超过两年。
无论是样品验证、年度供应还是工艺外包,工程师 24h 内给出方案与报价。