Dummy / 机械片
用于炉管填充、机台调试、热均匀性控制与搬运认证的非生产用片：规格最宽松、单片成本最低，可选氧化膜或氮化膜延长热循环寿命。
产品介绍
Dummy / 机械片（Dummy / Mechanical Wafer）是晶圆等级中成本最低的非生产用硅片，规格要求最宽松，仅用于在工艺设备中提供物理占位与热学 / 力学存在，不承担电学或表面质量要求。
这类片子通常由无法满足正片或测试片要求的 CZ 硅晶棒段（如晶棒尾部、锥端、电阻率偏离材料），或正片检验中因外观、尺寸落选的片子改制而成，避免材料直接报废或回炉。用其填充炉管、调试机台，相比消耗正片可显著降低成本，较同规格正片低约 70–90%。我们提供 100–300mm 全直径，表面从研磨哑光面到单面抛光可选；还可提供 100nm–2μm 热氧化膜选项，通过多次热循环保护硅表面、减少麻点与污染吸附，LPCVD 氮化膜则可在高温氧化或含氯气氛中提供额外保护。
核心特性
- 非生产用途，规格最宽松，仅要求物理占位与热学 / 力学存在；
- 成本较同规格正片低约 70–90%；
- 直径 100 / 125 / 150 / 200 / 300mm 全系列；
- 表面：研磨哑光 / 刻蚀 / 单面抛光可选；
- 可选 100nm–2μm 热氧化膜，经受多次热循环；
- 可选 100 / 200nm LPCVD 氮化膜，适应含氯高温气氛。
Dummy / 机械片：成本最低的非生产用片
应用场景
炉管填充与热均匀
扩散 / LPCVD 炉需满舟装载以维持气流与温度，Dummy 片填充舟两端与批次间空位。
机台调试与腔体老化
新刻蚀、沉积、注入腔体需数十至上百片老化腔壁、稳定射频阻抗与夹具。
温度曲线测绘
加装热电偶的 Dummy 片测绘炉舟与快速热处理腔的温度分布与过冲。
机械搬运认证
自动搬运系统、分选机与装载锁机器人用实物片验证对中、夹持与映射传感器。
氧化 Dummy 长寿命运行
氧化膜作为牺牲屏障，显著延长换片周期、降低单片使用成本。
氮化 Dummy 含氯工艺
频繁原位清洗、含氯吸气循环的炉管首选，详见产线配套供应。
能力介绍
- 炉管填充：单台立式炉可连续使用数十至上百片 Dummy；
- 表面选项灵活：研磨面成本最低，刻蚀面颗粒更少，SSP 可模拟发射率；
- 热氧化膜五档：100nm / 200nm / 500nm / 1μm / 2μm 对应约 1–2 至 30–50 次以上循环；
- 氮化膜：100 / 200nm Si₃N₄ 在含 HCl 气氛中可经受多达约 100 次循环；
- 几何兼容：厚度与平 / 缺口按 SEMI 宽松公差，适配自动搬运设备；
- 批量阶梯价格：支持框架协议按月交货，见定制加工总览。
机械级硅片：提供物理占位与热质量
按循环次数选膜 · 批量供货
依据炉管工艺与换片频率选择裸片、氧化或氮化 Dummy；月用量越大单片价格越低，支持合并装运与随批装箱单，相关回收方案见定制再生方案。
参数规格
| 参数 | 规格 / 可定制范围 |
|---|---|
| 晶圆类型 | Dummy / 机械级（非生产，成本最低） |
| 生长方法 | CZ，可用晶棒尾 / 锥端改制 |
| 直径 | 100mm、125mm、150mm、200mm、300mm |
| 掺杂类型 | 不限，不保证批次类型一致 |
| 电阻率 | 不限 / 无规格，低成本采购 |
| 晶向 | 〈100〉或〈111〉，视供应不挑选 |
| 参数 | 规格 / 可定制范围 |
|---|---|
| 厚度 | 按 SEMI M1–M13，宽公差（±20μm 或更大） |
| TTV | ≤ 10μm（200mm），≤ 15μm（300mm） |
| Bow / Warp | ≤ 50μm Bow，≤ 60μm Warp |
| 表面处理 | 研磨哑光 / 刻蚀 / 单面抛光（SSP） |
| 热氧化膜 | 100nm、200nm、500nm、1μm、2μm |
| 氮化膜 | 100nm、200nm（LPCVD） |
| 包装 | 散装花篮、多片包装或塑料运输盒 |
| 成本对比 | 较同规格正片低约 70–90% |
设备与工艺装备
| 设备类别 | 典型配置 | 用途 |
|---|---|---|
| 分选目检 | 强光检查工位 | 筛选边缘崩裂与明显污染 |
| 几何抽检 | 测厚 / 尺寸量具 | 确认 SEMI 宽松公差与搬运兼容 |
| 膜厚测量 | 椭偏 / 反射式（镀膜片） | 多点膜厚图记录 |
| 清洗设备 | 湿法清洗线（按需） | 出货前净化 |
| 包装工位 | 散装花篮 / 多片包装 | 成本优化包装 |
| 标识工位 | 批次级标记（可选） | 装箱单批次追溯 |
实际案例
立式炉满舟配套
某厂扩散炉需满舟装载以维持气流与温场稳定，两端与批次间存在空位。
结果：按月批量供应 200mm 研磨面 Dummy 片填充空位，热工艺稳定性改善。
新沉积腔体调试
某线新装沉积腔体，需要大量片子老化腔壁、稳定等离子状态。
结果：提供 300mm 刻蚀面 Dummy 批量，避免消耗监控级材料。
含氯工艺炉管配套
某炉管频繁进行原位清洗与含氯吸气循环，普通片换片频繁。
结果：交付 200nm 氮化 Dummy，循环寿命显著提升、单片使用成本下降。
常见问题
Dummy 片和测试片有什么区别？
氧化 Dummy 的膜厚怎么选？
含氯气氛应该用哪种？
表面处理有哪些选项？
是否支持批量协议？
有哪些直径可选？
几何公差是多少？
晶向和掺杂能指定吗？
Dummy 片主要用在哪些环节？
可以做标记追溯吗？
告知直径、表面、镀膜、月用量与目标价位，工程师 24 小时内报价
批量阶梯价，支持按月框架交货