晶圆运输盒与包装载具（Wafer Shipper）
单片盒 / 多片盒 / 25 片运输盒全规格现货 · 防震防潮真空充氮包装方案 · 我们每一片出货硅片的标准配置。
产品介绍
晶圆运输盒（Wafer Shipper / 晶圆盒）承担硅片出厂运输、客户间转寄与长期存储的防护职责。好的运输包装要同时解决三件事：防震（避免破片崩边）、防污染（低析出洁净材质）、防潮防氧化（真空/充氮密封）。我们供应单片盒、多片盒与 25 片运输盒全系列，2–12 英寸规格齐全——这也是我们每一片硅晶圆衬底出货时的标准包装。
单片盒 / 多片盒 / 25 片运输盒，防震防潮真空充氮包装
能力介绍
铝箔抽真空 / 充氮密封 + 泡棉缓冲，构成三层防护
三层防护
好的运输包装要同时解决防震、防污染与防潮防氧化三件事，我们用三层防护与 ESD 分级方案逐项覆盖。
- 三层防护：片级隔离 → 铝箔真空 / 充氮密封（含干燥剂与湿度卡）→ EPE 缓冲 + 五层瓦楞外箱，抗跌落抗挤压。
- ESD 分级：静电耗散型（10⁶–10⁹ Ω/sq）、导电型（< 10⁴ Ω/sq）、法拉第笼（等效 MIL-PRF-81705 Type III）与埋入式屏蔽层可选。
- 机械防护与合规：按 ISTA 3A、ASTM D4169 做跌落 / 振动 / 压缩验证，抗压在托盘堆码下可达 100 kg；需按危险品运输的材料可选 UN 4G / 4H 认证包装。
- 随片标配：单片盒 / 25 片盒 + 真空密封 + 缓冲外箱是我方硅片出货标准配置，费用含在报价内。
- 追踪与理赔：可选 G 值冲击标签与倾倒指示，便于收货方判定运输事件；出货默认顺丰保价。
参数规格
防震防潮真空包装方案
| 包装层级 | 配置 | 防护目标 |
|---|---|---|
| 第一层：片级防护 | 洁净无尘纸/PE 隔膜片间隔离，装入运输盒 | 防片间摩擦、防颗粒污染 |
| 第二层：密封防护 | 铝箔袋抽真空或充氮密封，内置干燥剂与湿度指示卡 | 防潮、防氧化，可追溯存储湿度 |
| 第三层：运输防护 | EPE 珍珠棉缓冲 + 五层瓦楞外箱，箱角加固 | 抗跌落、抗挤压，顺丰全程保价 |
ESD 防护分级
| 防护等级 | 表面电阻率 / 结构 | 说明 |
|---|---|---|
| 静电耗散型（Static-Dissipative） | 10⁶ – 10⁹ Ω/sq | 电荷受控泄放，适合多数器件技术 |
| 导电型（Conductive） | < 10⁴ Ω/sq | 快速泄放，适合 ESD 敏感度低于 100V HBM 的器件 |
| 法拉第笼（Faraday Cage） | 全金属或金属化外壳 | 提供完整静电屏蔽，等效 MIL-PRF-81705 Type III |
| 埋入式屏蔽层 | 金属化内衬 + 耗散外层 | 兼具法拉第笼屏蔽效果与外部 ESD 安全性 |
机械防护与运输合规
| 项目 | 指标 / 标准 | 说明 |
|---|---|---|
| 抗冲击 | 1 m 跌落时减速 25–50G（按 ISTA 3A） | 导电 PE/PU 泡棉吸能 |
| 抗振动 | 适配 5–500 Hz 运输振动频谱 | 泡棉顺应性调校 |
| 抗压溃 | 加固箱角与加强筋，堆码承载可达 100 kg | 适合托盘堆叠运输 |
| 冲击/倾倒指示 | G 值冲击标签（25G / 50G / 75G）与倾倒指示（可选） | 便于收货方判定运输事件 |
| 包装测试 | ISTA 3A、ASTM D4169 | 跌落、振动、压缩与低气压验证 |
| 危品运输 | UN 4G（瓦楞）/ 4H（塑料） | 适配需按危险品分类运输的材料 |
与搬运 / 包装流程的配合
运输盒是晶圆离开厂内、进入物流链的最后一环，建议与上游容器衔接使用：
| 环节 | 推荐运输方案 | 衔接容器 |
|---|---|---|
| 厂内湿法 / 高温周转 | — | 晶圆花篮（PEEK / ESD PP） |
| 划片后整片上框 | — | 框架盒，见 晶圆框架与贴片环 |
| 单片外发打样 | 单片盒 + 铝箔真空袋 | — |
| 批量外发量产片 | 25 片运输盒（cassette-in-box） | 可对接客户 AMHS |
| 易氧化/吸湿材料（GaAs、InP） | 真空密封运输盒（充氮） | 内置干燥剂与湿度指示卡 |
| 单颗 Die 发货 | — | 芯片盒 / 华夫盒，外罩防静电屏蔽袋 |
产品规格表
| 类型 | 容量 | 适配尺寸 | 材质与特性 |
|---|---|---|---|
| 单片盒（Single Wafer Shipper） | 1 片 | 2 / 3 / 4 / 6 / 8 / 12 英寸 | PP/PC，上下盖扣合，晶圆悬浮固定不接触盒壁 |
| 多片盒（4/6/13 片） | 4–13 片 | 2–8 英寸 | PP 齿槽定位，片间隔离防碰撞 |
| 25 片运输盒 | 25 片 | 4 / 6 / 8 / 12 英寸 | PP/PC 带定位齿槽，配硅胶缓冲垫片 |
| 防静电运输盒（ESD） | 1 / 25 片 | 2–12 英寸 | 表面电阻 10⁴–10⁹ Ω，适合化合物与静电敏感片 |
| 框架盒（Frame Cassette） | 1–13 框 | 6 / 8 / 12 英寸框架 | 存放已贴膜上框晶圆，配晶圆框架使用 |
运输盒类型对比
| 类型 | 容量 / 形式 | 核心防护特点 | 适用 |
|---|---|---|---|
| 单片运输盒 | 1 片 | CNC 加工导电泡棉定位，晶圆完全悬空、零片间接触；可选真空/充氮密封 | SOI、图形片、贵重衬底、科研样品互换 |
| 多片运输盒 | 2 / 6 / 13 / 25 片 | 导电 PE 泡棉隔片或导电花篮内衬，cassette-in-box 可直接对接 AMHS | 产线批量转寄、测试片/挡片配送 |
| 真空密封运输盒 | 1 / 25 片 | 真空口密封、漏率 < 1×10⁻⁶ atm·cc/s（He），内置湿度指示卡与干燥剂 | GaAs、InP 等 III-V 及易氧化/吸湿材料 |
| 翻盖式载具（Clamshell） | 1 片 | 单手锁扣、透明 PC 上盖免开盒观察，比铝制轻约 50%，可堆叠 | 频繁取用、厂内高频周转 |
| 掩膜版运输盒 | 1 片版 | 掩膜专用泡棉内衬 | 5″×5″、6″×6″、7″×7″ 光罩运输 |
设备与工艺装备
| 设备类别 | 典型配置 | 用途 |
|---|---|---|
| 注塑机 | PP / PC / 防静电原料成型 | 盒体与上盖成型 |
| CNC 加工中心 | 泡棉腔体与定制结构 | 定制内衬 / 异形腔 |
| 泡棉加工设备 | 导电 PE / PU 泡棉切割 | 定位缓冲内衬 |
| 真空 / 充氮封口设备 | 铝箔袋抽真空 / 充氮密封 | 防潮防氧化密封 |
| 洁净清洗 / 装配线 | ISO Class 5–7 洁净装配 | 洁净装配与包装 |
| 跌落 / 振动测试台 | ISTA 3A / ASTM D4169 | 运输防护验证 |
实际案例
科研样品互换
单片盒寄送 SOI
某课题组需要把 SOI 样品寄给合作单位，单件价值高、怕碰。
单片盒 + 铝箔真空袋 + 顺丰保价，样品安全寄达
产线批量
测试片批量转寄
某产线每月批量转寄测试片到另一厂区，需要可直接上料架。
25 片运输盒 cassette-in-box，可直接对接客户 AMHS
易氧化材料
InP 真空充氮存储
某 InP 项目需要长期存储并控制吸湿与氧化。
真空密封盒 + 干燥剂 + 湿度指示卡，满足吸湿控制要求
常见问题
买硅片时运输盒需要另外付费吗？
不需要。单片盒/25 片盒 + 真空密封 + 缓冲外箱是我们硅片出货的标准配置，费用已含在报价内。单独采购空盒用于样品转寄或内部周转也可以，一片起售。
运输中破片了怎么办？
我们所有出货默认顺丰保价。到货后请当面验货并拍照留存，如确认运输破损，凭照片与运单号 48 小时内安排补发或理赔，无需客户承担损失。
真空包装的硅片能存放多久？
真空充氮 + 干燥剂密封状态下，常温洁净环境可存放 12 个月以上。建议通过湿度指示卡监控，若指示卡变色提示受潮，使用前建议烘烤或 RCA 清洗后再进工艺。
单片盒和多片盒怎么选？
看单次寄送数量与价值：单件贵重片（SOI、图形片、光罩级毛坯）选单片盒，CNC 导电泡棉定位、晶圆悬空、零片间接触；批量转寄用多片盒（2/6/13/25 片），导电 PE 泡棉隔片或导电花篮内衬，成本更低且可堆叠托盘化运输。
器件 ESD 很敏感，屏蔽怎么升级？
除静电耗散型（10⁶–10⁹ Ω/sq）与导电型（< 10⁴ Ω/sq）外，可选法拉第笼结构（全金属/金属化外壳，等效 MIL-PRF-81705 Type III）或埋入式屏蔽层（金属化内衬 + 耗散外层）。ESD 敏感度低于 100V HBM 的器件建议用导电型或法拉第笼方案。
出口或危险品运输，包装合规吗？
运输盒按 ISTA 3A、ASTM D4169 做跌落/振动/压缩验证，可适配空运与海运；对需按危险品分类的材料，可提供 UN 4G（瓦楞）/ 4H（塑料）认证包装。冲击与倾倒指示标签便于收货方核验运输事件，适合国际物流质量追溯。
运输盒能存放已贴膜上框的晶圆吗？
可以。选用框架盒（Frame Cassette）可存放 1–13 框已贴膜上框的晶圆，适配 6/8/12 英寸框架，需配合晶圆框架与贴片环使用，避免转寄时损坏。
翻盖式载具和普通单片盒有什么区别？
翻盖式（Clamshell）为单手锁扣、透明 PC 上盖，免开盒即可观察，比铝制轻约 50% 且可堆叠，适合厂内高频周转；长途外发仍建议用密封更好的单片盒。
运输盒能承受多大的堆码压力？
加固箱角与加强筋后，堆码承载可达 100 kg，适合托盘堆叠运输；抗冲击按 ISTA 3A 做跌落验证，1m 跌落时减速约 25–50G，由导电 PE/PU 泡棉吸能。
光罩（掩膜版）也能用你们的运输盒寄送吗？
可以。我们提供掩膜版运输盒，配专用泡棉内衬，适配 5″×5″、6″×6″、7″×7″ 光罩，用于光罩的安全转寄与存储。
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