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晶基半导体 · Wafer-Level Build-Up for AI

晶圆级增层技术 for CoWoS / 2.5D / ChipletHBM / TSV / InterposerCPO / NPO 光互连Bumping / RDL / UBMFlipchip / Hybrid Bonding

在晶圆上完成金属互连、介电层堆叠与微凸块制备——让 AI 芯片设计公司与封测厂以最低成本完成前期架构验证。

硅中介层、RDL 与微凸块一站配套,加速 2.5D/3D 异构集成打样 TSV 深孔填铜与硅通孔全流程,缩短 HBM 堆叠验证周期 高阻硅 / 石英衬底与精密图形化,支撑光电共封装集成方案 UBM 叠层、铜柱凸块与多层 RDL,精密加工对准标记 ABF 载板、混合键合与倒装工艺,完成高密度互连验证

WHAT IS WAFER-LEVEL BUILD-UP

什么是晶圆级增层技术

在晶圆表面逐层构建金属布线(RDL)、介电绝缘层与微凸块互连结构,使芯片在封装前就具备高密度电气互连能力。这是 2.5D/3D 先进封装、Chiplet 异构集成、HBM 堆叠和 CPO 光互联的核心工艺基础。

  • 衬底正面:交替沉积介电层(PI/PBO、SiO₂)与 Cu-RDL,完成 I/O 扇出与再布线
  • 衬底体内:TSV 硅通孔填铜贯穿衬底,实现正反面垂直互连
  • 衬底表面 / 背面:微凸块 / 混合键合堆叠芯粒,BGA 焊球连接封装基板
微凸块 / 铜柱 介电层 + RDL 再布线 硅衬底 TSV TSV 背面凸块(Bump / BGA)
晶圆级增层截面:硅衬底上的 TSV 硅通孔贯穿正反面,顶部介电层 + RDL 再布线承载微凸块,背面 BGA 凸块连接封装基板。

我们能利用的增层工艺

介电薄膜、光刻图形化、RDL 再布线、TSV 硅通孔、晶圆键合与衬底供应——六大能力覆盖晶圆级增层的完整流程,从一片衬底到验证晶圆一站式完成。

RDL 再布线层与微凸块工艺

RDL 再布线与凸块

多层 Cu-RDL 再布线、UBM 金属化、铜柱/焊料凸块制备,实现芯片 I/O 扇出与高密度互连。

了解 RDL / Bumping →
介电层与金属薄膜沉积工艺

介电层与金属薄膜

PECVD / ALD 介电层堆叠、PVD 金属种子层与阻挡层沉积,构成增层工艺的「砖与水泥」。

了解薄膜工艺 →
光刻图形化与对准标记

光刻图形化

接触式 / 步进式光刻精密图形化(≥0.5 μm),配套掩膜版设计与制造,定义每一层互连布局。

了解光刻工艺 →
TSV 硅通孔与深硅刻蚀

TSV 硅通孔

DRIE 深硅刻蚀 + 绝缘层 + 填铜,实现芯片正反面垂直互连,HBM 与 3D 堆叠的关键工艺。

了解 TSV / DRIE →
晶圆键合与混合键合工艺

晶圆键合

直接键合、共晶键合、Hybrid Bonding,将芯片或中介层堆叠在一起,形成 3D 封装结构。

了解键合工艺 →
TGV 玻璃基板与特种衬底

衬底与基板供应

硅中介层、TGV 玻璃基板、高阻硅、石英与 SOI 等增层工艺所需的全部衬底材料,国内仓现货。

查看衬底产品 →
WHY WE BUILT THIS

帮 AI 客户低成本完成前期设计验证

AI 芯片从架构设计到量产之间,有一段漫长而昂贵的验证期——流片一次数百万、排产等待数月。对于 Chiplet 拼接方案、HBM 堆叠结构、CPO 光电互连等新架构,设计公司往往需要在正式流片前反复验证互连可靠性、热管理与信号完整性。

我们把验证门槛降到最低:

  • 不需要自建产线:增层工艺全流程代工,设计公司只需提交版图与规格;
  • 不需要等排产:样品级小批量优先排产,最快 2 周交付验证晶圆;
  • 不需要多头对接:衬底采购、光刻、薄膜、凸块、检测一个团队完成;
  • 不需要承担量产成本:验证片价格按片计,失败了换方案再来,试错成本可控。
提交验证需求
AI 芯片先进封装验证晶圆

从设计到验证晶圆交付,一个团队完成全流程

2 周验证片最快交付
1 片起样品级小批量
1 个团队全流程单点对接
可控成本按片计价 · 快速迭代
TEG WAFERS

TEG 晶圆:封装验证与工艺监控的测试载体

TEG(Test Element Group)测试元件组晶圆,是带互连图形、凸块、TSV 或特定机械结构的专用晶圆。设计公司与封测厂用它评估封装可靠性、监控工艺窗口、调试设备状态——无需承担正式流片成本,就能把关键参数验证在前。

Daisy Chain 菊花链测试晶圆

Daisy Chain 菊花链晶圆

带互连链路的测试载具,通过连续性测量评估焊点、TSV 与键合在应力后的可靠性,链长与拓扑可按版图定制。

了解产品
Bump Wafer 凸块晶圆

Bump Wafer 凸块晶圆

SnAg / AuSn / 铜柱 / Au 钉头凸块载具,最小间距 80μm,服务倒装与晶圆级封装的互连验证。

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Taiko 超薄晶圆

Taiko 超薄晶圆

边缘留厚、中心减薄的超薄晶圆,支撑 HBM、3D 堆叠的减薄与键合工艺验证。

了解产品
测试片 / 监控片

测试片 / 监控片

用于工艺监控与设备调试的标准晶圆,随批次提供可追溯的检测数据。

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Dummy / 机械片

Dummy / 机械片

无器件的机械陪片,用于腔体填充、温度均衡与设备走带验证,降低量产调试成本。

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翘曲片加工

翘曲片加工

特殊翘曲形态晶圆与定制加工,验证应力分布、封装翘曲与键合工艺窗口。

了解产品
HOW IT WORKS

垂直整合 · 全流程代工 · 匹配先进产能

晶基半导体不是贸易商或中间商——材料、工艺、产能三个环节由同一个团队把控,从一片衬底到验证晶圆一站式完成。

垂直整合

衬底材料供应 + 微纳加工 + 先进封装配套,全链路一个体系完成,不转包、不拼凑。

工艺专家团队

懂先进封装架构要求,方案阶段即规避工艺匹配风险,全程单点对接。

国内先进产能匹配

8/12 英寸晶圆厂与封装厂长期合作,样品小批量快速排产,检测数据随批交付。

一站式服务

从需求对接、方案设计到交付验收,一个团队单点对接,不转包、不推诿。

8/12 英寸工艺线
8/12 英寸工艺线
先进封装工厂
先进封装工厂
晶圆机械加工能力
晶圆机械加工能力
各类晶圆衬底
各类晶圆衬底
AI APPLICATIONS

面向 AI 的先进封装应用

围绕 AI 芯片的封装集成需求,提供从衬底、工艺到验证的一站式配套,覆盖当前主流与下一代先进封装路线。

CoWoS / 2.5D / Chiplet

硅转接板、RDL 与微凸块配套,加速 2.5D 异构集成打样。

了解方案

HBM / 3D 堆叠

TSV 硅通孔与减薄工艺,缩短 HBM 堆叠验证周期。

了解方案

TGV 玻璃基板

玻璃通孔与玻璃衬底,支撑下一代高频低损耗封装。

了解方案

CPO / 硅光

高阻硅 / 石英衬底与精密图形化,服务光电共封装。

了解方案

混合键合

Hybrid Bonding 晶圆与键合工艺,实现高密度 3D 互连。

了解方案

AI 电源 / HVDC

高功率密度衬底与厚铜工艺,服务 AI 供电与 HVDC。

了解方案

RDL / 凸块

UBM、铜柱凸块与多层 RDL,实现 I/O 扇出与高密度互连。

了解方案

CoPoS 面板级封装

面板级 RDL 与玻璃 / 蓝宝石衬底,探索下一代大尺寸封装。

了解方案
PLATFORM & TRUST

半导体级合作流程,全程可追溯

从 NDA、SOW 到图纸确认、合同与交付,每一步都有书面依据;报价含税、随批附检测数据。

从图纸到晶圆的专业协作

客户提供 CAD 工程图或 GDSII 版图,工程师完成设计规则检查(DRC)、工艺匹配与可行性评估后进入加工;图纸与版图全程受 NDA 保护。

  • CAD 工程图:芯片外形、焊盘坐标、布线走向
  • GDSII 版图:逐层图形、对准标记、DRC 规则
  • 工艺可行性:线宽 / 间距 / 层数与设备能力匹配
CAD 工程图 Die 外形 焊盘坐标 / 布线走向 GDS 版图 逐层图形 / 对准标记 / DRC 晶圆验证 样品验证 / CoC 交付
设计过程:CAD 工程图 → GDSII 版图 → 晶圆样品验证
01

需求沟通 & NDA

签署保密协议,保护图纸与工艺参数

➜
02

SOW 技术方案

明确工艺范围、技术指标与验收标准

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03

报价确认

含税报价单与排产周期

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04

图纸 / 版图确认

GDSII 版图与 DRC 数据检查

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05

合同签订 & 排产

锁定产能与交期

➜
06

加工交付 & 验收

随附 CoC 与检测数据

ARTICLES

技术资讯与选型指南

围绕 AI 先进封装、材料选型与工艺制程,写给工程师的实用内容,持续更新。

CoWoS 转接板选型

CoWoS 转接板选型:硅 vs 玻璃 vs 有机

三条 interposer 技术路线对比:互连密度、CTE 匹配与成本,按项目阶段给出选型建议。

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HBM 供应链解析

HBM 供应链解析与国内配套机会

拆解 HBM 堆叠结构与 TSV / 减薄 / 键合三大工艺难点,指出国内厂商的切入点。

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CPO 玻璃衬底

CPO 时代玻璃衬底的机会

光电共封装为何需要玻璃衬底?解析玻璃在低损耗与光窗集成上的优势。

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TGV 玻璃通孔技术

TGV 玻璃通孔:先进封装的玻璃基板方案

玻璃基板为何成为 2.5D/3D 封装新选项?解析 TGV 通孔、低损耗与大面积优势。

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查看全部技术资讯 →

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所有询价均由工程师直接回复,不转客服。